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晶圆缺角自动对齐装置制造方法及图纸
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下载晶圆缺角自动对齐装置的技术资料
文档序号:36898516
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本发明提供了一种晶圆缺角自动对齐装置,包括本体、晶圆旋转机构及晶圆定位机构。本体具有晶舟放置部。晶圆旋转机构设置于本体上并且包括转轴,转轴延伸通过晶舟放置部,转轴的轴线与本体之间的夹角的角度大于0
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该专利属于叶维彰所有,仅供学习研究参考,未经过叶维彰授权不得商用。
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