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本申请提供一种机台的控制方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，能够在机台完成对送入的至少一批晶圆的沉积膜层处理后，根据机台的多个腔室内壁所沉积的膜层厚度，以及当前机台对晶圆的处理顺序，确定向机台送入的下一批晶圆的批次数量，从而在机台即将...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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