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本发明提供了一种测高方法、高度补偿方法及系统，在测高方法中，首先开启吸嘴的真空，控制摆臂移动到固晶台需要进行测高点的位置，使摆臂向下移动，直到吸嘴触碰到固晶点位时会堵塞真空并使检测模块产生信号变化，此时记录当前摆臂下降的高度脉冲值。本发明的...
该专利属于深圳市卓兴半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市卓兴半导体科技有限公司授权不得商用。

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