温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请提供了一种定位夹持装置及上下料设备,定位夹持装置包括底座;承载机构,设置于底座上,用于承载工件;夹持机构,包括第一夹持组件与第二夹持组件,第一夹持组件与第二夹持组件中的至少一个可沿第一方向活动地设置于底座上,用于沿第一方向夹持所述工件...该专利属于深圳市大族半导体装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市大族半导体装备科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请提供了一种定位夹持装置及上下料设备,定位夹持装置包括底座;承载机构,设置于底座上,用于承载工件;夹持机构,包括第一夹持组件与第二夹持组件,第一夹持组件与第二夹持组件中的至少一个可沿第一方向活动地设置于底座上,用于沿第一方向夹持所述工件...