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本申请提供了一种卡盘组件和测量装置，所述卡盘组件包括卡盘，卡盘朝向晶圆的一侧设置有用于支撑晶圆的支撑柱和多个能够用于形成气垫的气嘴，多个支撑柱以卡盘的回转中心为圆心形成多个同心的支撑环，多个气嘴以回转中心为圆心形成多个同心的气嘴环，任意两个...
该专利属于南京中安半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中安半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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