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本发明提供了一种微机电系统换能器封装结构，包括上盖、覆盖于上盖的基座、由基座和上盖共同形成的声腔和收容于该声腔内的换能器和控制电路，换能器与控制电路电连接，所述上盖设置有入声孔，所述基座由陶瓷材料制成，基座内嵌设有低通滤波电路。本发明提供的...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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