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本发明涉及一种用于感应机械量的容性ＭＥＭＳ传感器设备。为了提供这样的能够在发生机械过载情况后迅速从（接近于）粘接状态恢复过来的容性ＭＥＭＳ传感器设备，提出了这样一种传感器设备包括：－第一偏压单元（Ｖ１），用于为所述ＭＥＭＳ传感元件的第一极板...
该专利属于ＮＸＰ股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＮＸＰ股份有限公司授权不得商用。

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