下载光学监控机构及镀膜装置的技术资料

文档序号:36870758

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本发明涉及一种光学监控机构及镀膜设备,所述光学监控机构包括:监控板与转轴,所述监控板开设有第一监控孔及第二监控孔,所述第一监控孔与所述第二监控孔在所述监控板上间隔设置,且所述第一监控孔到所述监控板圆心的距离与所述第二监控孔到所述监控板圆心的...
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