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公开了在发生处理移位时使用经调整的卡紧电压进行卡紧操作的方法、系统和装置。在一个实施方式中，一种方法包括在处理腔室中对基板进行第一处理操作。第一处理操作包括在基板被支撑在ESC上时，将卡紧电压施加至处理腔室中的静电卡盘(ESC)。所述方法包...
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