下载一种用于三层结构微流控芯片的夹具装置的技术资料

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本实用新型公开了一种用于三层结构微流控芯片的夹具装置,涉及微流控芯片加工技术领域。包括固定夹具以及活动夹具,所述固定夹具的内部设置有芯片载台,用于承载芯片的下横切段,所述芯片载台的内部开设有负压孔一,用于连通负压源吸附下横切段,所述活动夹具...
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