下载用于弹性发射中抛光压力的控制装置及抛光压力确定方法的技术资料

文档序号:36853472

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本发明提供了一种用于弹性发射中抛光压力的控制装置及抛光压力确定方法。所述控制装置包括柔性铰链、微动板、力传感器、力驱动器、测距仪和固定板。微动板为可运动件,通过柔性铰链与固定板相连,此外,微动板还可通过力传感器和力驱动器与固定板相连;力传感...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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