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本申请提供了一种晶棒滚圆开槽方法及晶棒滚圆开槽装置。晶棒滚圆开槽方法包括如下步骤：装夹晶棒、采集数据、绘制二维的等值线图，磨削晶棒和加工。晶棒滚圆开槽装置包括第一夹头单元和第二夹头单元，数据采集机构，数据绘制机构，磨削部和开槽部。本申请提供...
该专利属于万华化学集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团股份有限公司授权不得商用。

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