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本发明提供一种晶圆稳定清洁装置及清洁方法，包括清洗安装平台，所述清洗安装平台上端安装有清洗组件，所述清洗安装平台上端设置有搬运组件，所述搬运组件位于清洗组件一侧，所述清洗组件为相对设置的两组，所述清洗组件包括清洗安装套筒，所述清洗安装套筒内...
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