下载一种用于半导体元件加工的清洗架的技术资料

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本实用新型公开了一种用于半导体元件加工的清洗架,包括主架体和可拆卸设置于主架体上的分架体,所述分架体可拆卸设置于主架体上,所述分架体包括盘体活动设置于盘体上的上固定柱和下固定柱,所述下固定柱上设置有放置槽,所述上固定柱上包裹有缓冲层,两根所...
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