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文档序号:36845087
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本发明属于半导体加工领域,具体的说是芯片封装方法,提供半成品的晶圆,晶圆上设置有切割需要用到的切割道和芯片的金属焊垫,金属焊垫采用选择性形成工艺在其表面形成球下金属电极;对晶圆切割前需要在晶圆表面覆盖保护层,保护层覆盖在切割道上,并且保护层...
该专利属于李忠军所有,仅供学习研究参考,未经过李忠军授权不得商用。
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