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本实用新型涉及真空隔膜阀技术领域，具体公开了一种串联式双阀路真空隔膜阀，包括阀座、阀体以及设置在阀体内部的两组膜片，所述阀座整体呈管状结构，其内部设置有两端开口的流腔；所述阀体配合设置在阀座上侧，且与阀座固定连接；所述阀体侧面设置有第一换气...
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