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本发明涉及温度调节装置(1)，用于调节半导体晶圆和/或混合晶圆的采样台(110)的温度，所述装置具有将温度调节流体引导进入温度调节装置(1)的流体入口(10)，对导入的温度调节流体的温度进行预调节的第一热交换器(20)。使用第二热交换器(3...该专利属于ATT先进温度测试系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ATT先进温度测试系统有限公司授权不得商用。
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本发明涉及温度调节装置(1)，用于调节半导体晶圆和/或混合晶圆的采样台(110)的温度，所述装置具有将温度调节流体引导进入温度调节装置(1)的流体入口(10)，对导入的温度调节流体的温度进行预调节的第一热交换器(20)。使用第二热交换器(3...