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对MEMS扫描设备的振幅与双相控制制造技术
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下载对MEMS扫描设备的振幅与双相控制的技术资料
文档序号:36842847
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一种MEMS扫描设备(“设备”)至少包括:(1)由激光驱动器控制以投影激光束的(一个或多个)激光投影仪;(2)由MEMS驱动器控制以扫描激光束而生成光栅扫描的(一个或多个)MEMS扫描镜;(3)显示器,其被配置为接收光栅扫描;(4)温度计,...
该专利属于微软技术许可有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过微软技术许可有限责任公司授权不得商用。
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