【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】对MEMS扫描设备的振幅与双相控制
技术介绍
[0001]微机电系统(MEMS)是通常使用微加工技术制成的小型化机械和/或机电元件。MEMS设备的物理尺度能够从远低于一微米到若干毫米不等。
[0002]MEMS的一种类型的应用涉及光学开关和微镜，以重定向或调制光束。在一些实施例中，微镜可以由MEMS元件准确地控制从而以给定频率来回摆动。在一些实施例中，可以将不同强度的一个或多个激光束(例如，红、绿、蓝光束)组合成单个光束，并且将所述单个光束中继到一个或多个MEMS扫描镜上。然后，(一个或多个)MEMS扫描镜来回摆动，以光栅图案扫描光束以在显示器上投影图像。只要扫描速率足够快，光栅扫描的激光束就可以使用单个扫描点产生稳定图像的印象。这些(一幅或多幅)图像然后可能产生运动的印象。能够通过同步地调制一个或多个激光和扫描激光束的位置来创建这样的(一幅或多幅)投影图像或运动图片。
[0003]然而，每个MEMS设备可以具有独有的一组温度特性，使得每个MEMS设备在不同温度下的行为略有不同。例如，MEMS扫描设备可以包括一个或多个MEMS扫描镜，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种MEMS扫描设备，包括：一个或多个激光投影仪，其由激光驱动器控制以投影激光束；一个或多个MEMS扫描镜，其由MEMS驱动器控制以进行扫描并且在扫描时反射所述激光束以生成光栅扫描；显示器，其被配置为接收由所述一个或多个MEMS扫描镜生成的所述光栅扫描；温度计，其被配置为检测所述MEMS扫描设备的温度；显示器观察相机，其被配置为捕获所述显示器的预定区域的图像；一个或多个处理器；以及一个或多个计算机可读介质，在其上存储有一个或多个温度模型和计算机可执行指令，所述计算机可执行指令被构造为使得当由所述一个或多个处理器运行时，使得所述MEMS扫描设备执行以下操作：由所述温度计检测当前温度；基于所述当前温度和所述一个或多个温度模型在所述显示器的所述预定区域处投影一个或多个预定图案，其中，所述一个或多个温度模型中的每个温度模型是使用机器学习而自定义构建的，表示在温度与以下中的至少一项之间的关系：(1)所述一个或多个MEMS扫描镜中的至少一个MEMS扫描镜的振幅，或者(2)所述MEMS扫描镜中的至少一个MEMS扫描镜的相移；由所述显示器观察相机捕获所投影的一个或多个预定图案的一幅或多幅图像；从所捕获的一幅或多幅图像中提取一个或多个特征；将从所捕获的一幅或多幅图像中提取的所述一个或多个特征与一个或多个理想特征进行比较，以确定在从所捕获的一幅或多幅图像中提取的所述一个或多个特征与所述一个或多个理想特征之间是否存在足够的差异；以及响应于确定存在所述足够的差异，来更新所述一个或多个温度模型中的至少一个温度模型。2.根据权利要求1所述的MEMS扫描设备，所述更新所述一个或多个模型中的至少一个模型包括：响应于识别在从所捕获的一幅或多幅图像中提取的所述一个或多个特征与所述一个或多个理想特征之间的所述足够的差异，来调整以下中的至少一项以减轻所述差异：(1)所述MEMS驱动器的一个或多个控制参数，或者(2)所述激光驱动器的一个或多个控制参数；以及基于所述当前温度和对以下中的至少一项的所述调整来更新所述一个或多个温度模型中的至少一个温度模型：(1)所述MEMS驱动器的所述一个或多个控制参数，或者(2)所述激光驱动器的所述一个或多个控制参数。3.根据权利要求2所述的MEMS扫描设备，其中，所述更新所述一个或多个模型中的至少一个模型是以预定时间间隔来执行的。4.根据权利要求3所述的MEMS扫描设备，其中：当对(1)所述MEMS驱动器的所述一个或多个控制参数或者(2)所述激光驱动器的所述一个或多个控制参数中的至少一项的调整大于阈值时，所述预定时间间隔减小；或者当对(1)所述MEMS驱动器的所述一个或多个控制参数或者(2)所述激光驱动器的一个
或多个控制参数中的至少一项的调整小于阈值时，所述预定时间间隔增大。5.根据权利要求1所述的MEMS扫描设备，其中：所述一个或多个MEMS扫描镜包括第一单维扫描镜和第二单维扫描镜；所述第一单维扫描镜被配置为以第一振幅在第一维度上进行扫描；所述第二单维扫描镜被配置为以第二振幅在第二维度上进...
【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：微软技术许可有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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