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提供了一种晶圆翻转装置，其包括第一晶舟、第二晶舟、底座，所述第一晶舟和所述第二晶舟为箱体结构，并且包括插槽结构，所述插槽结构设置于所述第一晶舟、所述第二晶舟的两个相对的侧面的内侧并且包括用于放置晶圆的多个相对的插槽，所述底座包括底板、推杆，...
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