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本实用新型公开了一种光学芯片的探针装置,其中,上述光学芯片的探针装置包括:探针支架,加电探针和风冷散热部件,其中,风冷散热部件的风冷管道伸入探针支架中;加电探针包括固定部分和探针头部,固定部分固定在探针支架中,探针头部伸出探针支架之外,探针...该专利属于武汉锐科光纤激光技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉锐科光纤激光技术股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种光学芯片的探针装置,其中,上述光学芯片的探针装置包括:探针支架,加电探针和风冷散热部件,其中,风冷散热部件的风冷管道伸入探针支架中;加电探针包括固定部分和探针头部,固定部分固定在探针支架中,探针头部伸出探针支架之外,探针...