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本发明涉及一种集成电路半导体超纯水设备。其技术方案包括：包括依次连接的原水箱、两个并联的原水泵、自清洗砂滤器、自清洗炭滤器、第一MF过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级RO水箱、二级高压泵、二级反渗透装置，在二级反渗透装置的输出连接有两...
该专利属于东莞市仟净环保设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市仟净环保设备有限公司授权不得商用。

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