下载一种锗单晶制备用单晶炉及工艺的技术资料

文档序号:36821917

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种锗单晶制备用单晶炉及工艺。提供一种使得副炉体能够自动进行转动,便于将锗单晶取出的锗单晶制备用单晶炉及工艺。一种锗单晶制备用单晶炉及工艺,包括有:底座和支撑座,底座前部上侧连接有支撑座;主炉体,支撑座上部...
该专利属于昆明汇泉高纯半导材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆明汇泉高纯半导材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。