温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体设备技术领域，解决了现有技术下自找平工作台结构设计较为复杂，且缺少良好的自锁性能及承压性能，因而较难满足较为精密工件的加工需求的问题，提供了一种自找平工作台。该自找平工作台包括底板；万向球，其中万向球顶部开设有安装面，安...
该专利属于南方工业技术研究院（深圳）所有，仅供学习研究参考，未经过南方工业技术研究院（深圳）授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。