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本发明提供晶圆运输盒，其特征在于，包括：下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁而在内部空间(A)中堆叠晶圆；及上部壳体(100...
该专利属于3S韩国株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过3S韩国株式会社授权不得商用。

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