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本实用新型公开的用于环切的晶圆载台，包括贴膜平台，贴膜平台上设置环切时与环切刀对应的环切槽。贴膜平台上设置环切槽，能够使得在对BG膜进行圆切时，环切刀与贴膜平台之间不会发生碰撞。会发生碰撞。会发生碰撞。
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该专利属于河南通用智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。

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