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用于可汽化固体源材料的汽化器容器制造技术
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文档序号:36815630
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本实用新型涉及用于可汽化固体源材料的汽化器容器,其包括一或多个试剂支撑面板,所述试剂支撑面板在竖直定向上,例如当填充所述汽化器容器时,用作所述容器的内部空间的分隔物,而当旋转到水平定向时,所述面板支撑置于由所述面板和所述容器的内壁形成的一或...
该专利属于恩特格里斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩特格里斯公司授权不得商用。
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