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本发明涉及一种热式流量传感器结构，结构包括：衬底，具有相对的第一表面和第二表面；薄膜，设置在衬底的第一表面上，薄膜包括第一介质层，设置在衬底的第一表面上，第一介质层具有有效压应力；第二介质层，设置在第一介质层远离衬底的一侧表面上，第二介质层...
该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。

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