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本发明属电声技术领域，具体为一种结构新型的单片硅基微型电容式麦克风。其中，振膜采用弹性系数高的单晶硅膜制作，背极板采用聚酰亚胺厚膜制成，振膜电极和背电极均采用浓硼埋层电极引出，仅在热压脚上制作厚度大于１μｍ的金属层。在背极板上有微型声学孔。...该专利属于复旦大学;深圳豪恩电声科技有限公司;同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学;深圳豪恩电声科技有限公司;同济大学授权不得商用。