下载一种高保真液态金属三维微电极的制备方法的技术资料

文档序号:36810279

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本发明涉及三维微电极领域,公开了一种高保真液态金属三维微电极的制备方法,包括如下步骤:S1、利用软光刻制作基于PDMS的微通道结构;S2、在玻璃基底上旋涂脱模剂并对玻璃基底进行表面硅烷化处理,在硅烷化处理后的玻璃基底上旋涂液态水凝胶并固化,...
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