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本发明提供一种非接触式红外光谱膜厚测量装置，包括照明模块和干涉模块，所述干涉模块包括探测器、椭球镜、样品台、第四离轴抛物镜、分光镜、定镜和动镜；照明模块发出红外波段光束，入射分光镜，分光镜将所述红外波段光束透射至定镜，反射至动镜，定镜的反射...
该专利属于武汉颐光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉颐光科技有限公司授权不得商用。

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