下载温控系统及方法的技术资料

文档序号:36804971

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本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种温控系统及方法,温控系统包括换热装置、水箱和支管路,换热装置的放热通道的出口与水箱的进口连通,水箱的出口通过第一主管路与负载连通,负载与换热装置的放热通道的出口通过第二主管路连通,支管路的两端分别与第一...
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