下载清洁装置及芯片分选设备的技术资料

文档序号:36801624

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本申请涉及一种清洁装置及芯片分选设备。清洁装置包括安装座体、清洁件、补液装置及驱动组件。清洁件包括设于安装座体上的安装部及安装于安装部的清洁部,清洁部用以与待清洁结构接触。补液装置包括储液件及输液件,储液件具有用于存储清洁液的内腔,输液件包...
该专利属于深圳市希芯智能设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市希芯智能设备有限公司授权不得商用。

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