下载硅电容器麦克风及制造方法的技术资料

文档序号:3680112

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本发明提供了硅电容器麦克风及制造方法。公开了一种硅电容器麦克风封装。该硅电容器麦克风封装包括换能器单元、基板和盖。该基板包括在其中形成有凹进的上表面。该换能器单元附于基板的上表面并与所述凹进的至少一部分重叠,其中,换能器单元的背体积形成在该...
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