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本发明涉及一种由单晶硅制成的载体衬底(10)，载体衬底(10)具有正面(10a)和背面(10b)，并且包括：
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该专利属于索泰克公司所有，仅供学习研究参考，未经过索泰克公司授权不得商用。

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