温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种热处理单元和基板加工装置，该热处理单元包括：设置有基板加工装置的腔室，该基板加工装置包括：工艺腔室，在该工艺腔室中，上腔室和下腔室相互接触、以形成由该上腔室和该下腔室限定的处理空间；定位在处理空间中以加热基板的加热板；升降销...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。