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指向性硅电容传声器制造技术
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下载指向性硅电容传声器的技术资料
文档序号:3679966
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本发明涉及将传声器的壳体和安装有MEMS芯片的基板接合的封装结构的指向性硅电容传声器。这种本发明的传声器由如下部分构成:金属壳体,其形成有用于使前方声流入的前方声流入孔;基板,其形成有用于使后方声流入的后方声流入孔,该基板上安装有MEMS(...
该专利属于宝星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过宝星电子株式会社授权不得商用。
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