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本发明的实施例提供能够在将气体向外部排出的排气过程中使气流稳定地形成的排气组件以及具备其的液体处理装置以及基板处理设备。根据本发明的排气组件，用于排出在基板处理工艺中产生的气体，所述排气组件包括：至少两个进气口，被流入所述气体；主体部，与所...
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