下载半导体器件及制造半导体器件的方法的技术资料

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本公开涉及半导体器件及制造半导体器件的方法。半导体器件包括:衬底,在垂直方向设置在衬底上的铁电层,设置在铁电层上的电荷俘获层,设置在电荷俘获层上的栅极绝缘层,以及设置在栅极绝缘层上的栅电极层。电荷俘获层包括金属有机骨架层和嵌入金属有机骨架层...
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