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本发明公开一种微型电声波元件，其是一个利用创新的薄膜结构与支撑设计的技术，可用于麦克风或压力感测的结构设计。该结构体包含一组电容结构，其结构具有薄膜结构、一个底板结构与周围固定薄膜的微结构组合。而薄膜结构经过因压力负载而产生的薄膜变形后，在...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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