微型电声波元件制造技术

本发明专利技术公开一种微型电声波元件，其是一个利用创新的薄膜结构与支撑设计的技术，可用于麦克风或压力感测的结构设计。该结构体包含一组电容结构，其结构具有薄膜结构、一个底板结构与周围固定薄膜的微结构组合。而薄膜结构经过因压力负载而产生的薄膜变形后，在底板与薄膜的间隙因而改变，而两平行板间的电容值将产生变化。利用电容值变化效应的原理，电容传感器将随声音变化而造成电容值改变，达到测量的目的。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型电声波元件，包括一电容式音压感测元件，而上述电容式音压感测元件包含两个或多个上有导电材的平行版以构成电容，其中至少一平行板上开音孔，而在另外该些平行板中至少一该平行板上具有一桥状结构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：简欣堂，张平，郭乃豪，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]