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一种面发射激光器及其制备方法技术
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文档序号:36798562
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本发明涉及半导体激光器领域,具体提供一种面发射激光器及其制备方法,包括自上而下依次堆叠的第一型电极、光学谐振结构、第二型电极以及第二型衬底,光学谐振结构具有第一反射镜、第二反射镜以及位于第一反射镜和第二反射镜之间的有源区和光栅结构层,光栅结...
该专利属于吉光半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉光半导体科技有限公司授权不得商用。
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