下载一种晶棒切磨系统的技术资料

文档序号:36797364

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本发明提供一种晶棒切磨系统,用于对晶棒进行切割与磨削处理包括:底座;旋转台,设于底座上,旋转台包括旋转轴,旋转轴基本沿上下方向延伸,旋转台能够围绕旋转轴旋转,旋转台的侧面设有基本沿上下方向延伸的夹具;输料装置,至少部分连接至底座的一侧;切割...
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