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本发明提出一种适用于激光微纳制造的快速自动对焦方法，采用数字图像处理技术，先使用基于模糊量估计的离焦深度法粗对焦，快速定位到正焦位置附近，然后使用聚焦深度法精对焦，通过处理CCD相机采集到的聚焦图像并获得RIO区域的清晰度评价值，并通过极点...
该专利属于福州大学所有，仅供学习研究参考，未经过福州大学授权不得商用。

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