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硅麦克风包括导电或半导电材料的背极板，所述背极板包括刚性孔区域和周围区域；导电或半导电材料的振动膜，所述振动膜包括柔性元件，其遍布该孔区域和一个周围区域，该周围区域至少部分地与背极板的周围区域相连并与之绝缘；背极板的孔区域和振动膜的柔性元件...
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