下载压力波发生装置及其制造方法的技术资料

文档序号:3679276

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本发明提供一种压力波发生装置,其具有优良的输出长时间稳定性。该压力波发生装置包括:基板;加热元件层;和热绝缘层,该热绝缘层设置在该基板和该加热元件层之间。在加热元件层通电时产生的温度变化使周围介质(空气)中产生压力波。热绝缘层包括:多孔层;...
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