【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种，该压力波发生装置优选 地应用于例如扬声器和超声波传感器。
技术介绍
在过去，广泛地公知一种利用由压电效应产生的机械振动的超声波发生 装置。作为这种超声波发生装置，例如具有以下结构在由诸如钛酸钡之类 的压电材料制成的晶体的两个表面上形成电极。通过在电极之间加载电能获 得的机械振动在周围介质(例如空气)中产生超声波。然而，由于上述超声 波发生装置具有特有的共振频率，因此存在频带变窄、且易受外部振动或外 部气压波动影响的问题。另一方面，近年来有一种压力波发生装置颇引人注目，这种压力波发生 装置能够在不利用机械振动的情况下在介质中产生诸如超声波之类的压力波。例如在日本公开专利公报第11-300274号中公开的压力波发生装置配置有单晶硅，其被用作基板；多孔硅层，其在该基板上形成以作为热绝缘层； 铝膜，其在该热绝缘层上形成以作为热产生层；以及一对焊盘，其电连接到该热产生层。在这种压力波发生装置中，当电能经由所述焊盘加载至该热产 生层时，响应于驱动输入波形(即，驱动电压波形或驱动电流波形)，在热 产生层中发生温度变化。热产生层的这种温度变化通过热产生层与该...
【技术保护点】
一种压力波发生装置，包括：基板；热产生层；以及热绝缘层，所述热绝缘层形成在所述基板和所述热产生层之间，所述压力波发生装置配置为，通过所述热产生层在通电时产生的温度变化在周围介质中产生压力波， 其中，所述热绝缘层包括：多孔层；以及阻挡层，该阻挡层形成在所述多孔层和所述热产生层之间，用于防止所述介质的成分扩散到所述多孔层中。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡部祥文，本多由明，
申请(专利权)人：松下电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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