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本发明提供半导体引出结构的制备方法和半导体,所述方法包括:在半导体的金属布线层沉积金属材料,得到初始引出电极;对所述初始引出电极进行多次蚀刻,得到上窄下宽且外表面呈弧形状的目标引出电极;在所述目标引出电极上制备保护层,得到半导体引出结构;本...该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。
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本发明提供半导体引出结构的制备方法和半导体,所述方法包括:在半导体的金属布线层沉积金属材料,得到初始引出电极;对所述初始引出电极进行多次蚀刻,得到上窄下宽且外表面呈弧形状的目标引出电极;在所述目标引出电极上制备保护层,得到半导体引出结构;本...