下载一种筛查晶圆缺陷的测试方法的技术资料

文档序号:36780302

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本申请提供一种筛查晶圆缺陷的测试方法,包括:步骤S1,对芯片中的全部存储单元执行代码Pgm00的操作,以使存储单元中的浮栅呈充满电子的状态;步骤S2,对芯片实施加压测试,以使浮栅中的电子通过缺陷造成的漏电通道加速流失;步骤S3,对芯片中的全...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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