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本申请涉及一种检测机构和晶圆转运装置。检测机构包括驱动件和感测器，驱动件设于转运机构上，感测器包括位于承载件沿第一方向的相对两侧的发射器和接收器，发射器与接收器相对应，且被配置为能够感测放置于承载件上的晶圆的在位信号。发射器与接收器分别与驱...
该专利属于上海鼎泰匠芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海鼎泰匠芯科技有限公司授权不得商用。

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